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            技術(shù)文章
            
					
            
					
            




						




						
						
            
							
            什么是半導(dǎo)電薄膜
            
						  
            半導(dǎo)電薄膜只有半絕緣多晶硅薄膜。半導(dǎo)體薄膜主要有外延生長(zhǎng)的Si單晶薄膜和CVD生長(zhǎng)的摻雜多晶硅薄膜、半絕緣多晶硅薄膜。絕緣體薄膜主要有氧化硅薄膜、氮化硅薄膜等。金屬薄膜主要有Al、Au、NiCr等的薄膜。工藝中用到的薄膜技術(shù)光刻膠薄膜。
            
						  
						  
						  
						  
						  
						  
						
            
						 




					
            
				
            
				
            
			
            
		
            
	
            

            




            

	
	
		
		
		
		
		
		


		

		
		

	
	



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